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ULVAC真空泵所产生的废气有哪两种处理方法呢?

更新时间:2019-04-24      浏览次数:1285
  ULVAC真空泵产生的废气如何处理?在工厂的ULVAC真空泵会挥发一部分废气,其实ULVAC真空泵本身是不会产生废气的,ULVAC真空泵排放的废气主要就是工作系统中所用的气体成分,这部分的废气如何进行处理呢,其实简单直接而且投资少的方式,就是采用炭吸附进行收集后净化排放,利用的活性炭的吸附特性,可以对气体进行吸附有害成分,从而达到一个好的净化空气的效果,本文小编带您了解一下ULVAC真空泵废气处理采用的两种方式。
  ULVAC真空泵所产生的废气成分不单一,采用的两种方式的工艺流程,可以使有机废气在收集后通过设备净化,然后再经过15米烟囱高空排放到大气中。
  1、离子净化法:采用高压发生器形成低温等离子体,在平均能量约5eV的大量电子作用下,使通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子,与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质,使废气得到净化。在处理过程中,当有机气体进入冷离子体反应室时,气体被均匀分配到等离子反应室(PRC)。反应室分成149根六边形管子,每根管子的中心有一根冠状电线,与反应室独立隔开。
  通过高压线对反应室导通可调节高压,高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。一旦放电,等离子体电子就与气体分子相撞击,产生化学性活性核素,就是通常所说的激进和负荷载体。此外,还具有微型静电沉淀器的功能,该装置可以除尘。
  2、炭吸附法:主要由活性炭层和承托层组成。活性炭具有发达的空隙,比表面积大,具有很高的吸附能力。正是由于活性炭的这种特性,它在水的深度处理中被广泛应用,如生活给水,污水后段的(净水)深度处理等。活性炭使用一段时间后,吸附了大量的吸附质,逐步趋向饱和,丧失了工作能力,严重时将穿透滤层,因此应进行活性炭的再生或更换。
  以上介绍了两种处理ULVAC真空泵废气的方法,其实方式方法还有很多,主要是ULVAC真空泵废气的管道收集问题,需要设计好主管道的管径,支管道的管径等。
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